中微公司（688012）深度分析报告

核心概览

国产半导体刻蚀设备龙头，国内极少数能与全球顶尖设备商（泛林、东京电子、应用材料）直接竞争的企业。公司CCP和ICP刻蚀设备均在国内主要客户芯片生产线上市占率大幅提升，刻蚀设备收入连续多年高速增长。2025年营收123.85亿元（+37%），归母净利润21.11亿元（+30.6%），2026Q1营收29.15亿元（+34.13%）净利润9.30亿元（+197.2%），业绩持续高增长。市场核心关注点在于：先进制程刻蚀设备放量、薄膜沉积设备品类扩展、CMP领域并购整合、以及国产替代空间。

核心定位

中微公司是国内半导体设备龙头企业，专注于半导体微观加工设备的研发、生产和销售。公司核心产品为等离子体刻蚀设备（CCP和ICP），同时布局薄膜沉积设备（LPCVD/ALD/EPI）、MOCVD设备，并通过收购杭州众硅切入CMP领域，致力于构建平台化半导体设备公司。公司刻蚀设备已打入台积电、中芯国际、SK海力士、长江存储等全球一线芯片制造商生产线，是国际半导体设备产业界公认的后起之秀。

市场共识 vs 分歧

市场共识：半导体设备国产替代空间巨大，公司刻蚀设备技术已达国际先进水平，营收持续高增长确定性强；先进制程和存储芯片扩产驱动设备需求持续旺盛。

市场分歧：

• 看多方认为公司是国产半导体设备的核心受益标的，刻蚀+薄膜+CMP平台化布局将带来估值溢价
• 看空方认为当前估值偏高（PE 100+倍），国产替代预期已部分price in，且研发投入占比过高影响短期盈利

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一、公司基本概况与商业模式拆解

上下游关系

上游供应商：公司主要采购射频电源、真空泵、阀门、陶瓷件、石英件等核心零部件，部分关键零部件仍依赖进口。公司持续开发关键零部件供应商，推动供应链稳定安全，设备交付率保持在较高水准。

下游客户：公司客户覆盖全球主要芯片制造商，包括台积电、中芯国际、SK海力士、联华电子、华虹半导体、长江存储、合肥长鑫等。刻蚀设备已进入国内外40余条先进芯片生产线。2025年刻蚀设备销售约98.32亿元，占营收79.4%。

商业模式拆解

收入从哪来？→

公司收入主要来源于半导体设备产品的销售。2025年营收结构：刻蚀设备约98.3

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